潔凈室中的防靜電

   潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。

   所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。

   在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；

   1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

   2-靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏（見表1-21）

   3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作

   4．靜電放電的發光可導致照像肢片等感光破壞；

   5．靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；

   6．靜電放電引起的最危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統計，在手術室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次。

   靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因此表現為越容易帶電。

   靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。表1- 22列舉了國內兩次測定數據。

   表1—23列舉在進行超高頻晶體管和超高頻二極管的各道工序中，操作人員身上的電位

   穿棉工作服時，操作人員身上電位最小(  50—200V)，穿某些合成材料制的服裝的操作人員，身上電位在2500 V以上，最高可達10KV以上，而且所有上述這些數值還不是最高值。

   為防址潔凈室的靜電電擊，必須注意靜電電擊的界限。

   1．人體發生靜電電擊的界限

   一般情況下人體帶靜電電位達到3KV以上就產生電擊。表l一24列出了人體帶電與發生靜電電擊的關系，此時人體靜電容量為90PF，而當人體坐在椅子上或穿薄底鞋時，其  靜電容量比100PF大，所以電擊電位比表中所列的還要小。

   2．帶電物體是導體時，發生靜電電擊界限。圖1-13列出了這一靜電電擊界限。

   3．帶電物體是非導體時，發生靜電電擊界限。

   帶電物體是非導體時，靜電電擊的帶電電位大約為lOkV。

   為了防止對人的靜電電擊，對人隨時都在接觸的室內地面的泄漏電阻有一定要求，即為了使人體靜電能通過地面盡快泄漏于大地而不發生放電甚至電擊，該阻值越小越好，一般根據工作環境性質要求

如表l一25所列。表中電阻值是對已敷設好的地面測得的，不是材料的測定值。