潔凈廠房設計規范推薦的換氣次數
國際標準IS014644-4曾對微電子行業潔凈室給出推薦的換氣次數如表4-3所列根據該標準對換氣次數應用實例的說明,表中的換氣次數是動態下的數值
《潔凈廠房設計規范》在編制說明中指出:“潔凈室送風量計算所用的敦據是彗照國際體硅IS014644 4中表B、2而編制的。其中,換氣次數系根據我國實際情況確定的。”說明所指空氣潔凈度級別系指靜態,所以國標的換氣次數是靜態的。特別指出“如果設計時業主提出了要按動態進行驗收時,則另行處理”。但是始終來明確指明ISO標準是動態標準.
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